“CrAlSi” garyndysy sputtering nyşany ýokary arassalyk inçe film Pvd örtügi ýörite ýasaldy

“Hronium” alýumin kremniniň dökülýän nyşanlarynyň ýasalmagy aşakdaky ädimleri öz içine alýar:
1. Basgançak erginlerini almak üçin kremniniň, alýuminiň we hroniniň vakuum eremegi.
2. Poroşok üwemek we garyşdyrmak.
3.Hrom alýuminiý kremniý garyndysynyň dökülýän nyşanyny almak üçin gyzgyn izostatiki basyş bejergisi.
Hroniý alýumin kremniniň dökülmegi nyşanlary, filmiň işleýşini gowulandyrmak üçin könelmegine we ýokary temperatura okislenme garşylygy sebäpli kesiş gurallarynda we galyplarynda giňden ulanylýar.
CrAlSi nyşanlarynyň PVD prosesi wagtynda amorf Si3N4 fazasy emele geler.Amorf Si3N4 fazasynyň goşulmagy sebäpli däne ululygynyň ösmegi çäklendirilip, ýokary temperaturanyň okislenme garşylyk häsiýetini gowulandyryp biler.