Tüýdük örtük tehnologiýasynyň artykmaçlyklary we kemçilikleri

Recentlyakynda, köp ulanyjy tüýdük örtük tehnologiýasynyň artykmaçlyklary we kemçilikleri barada sorady, Müşderilerimiziň talaplaryna görä, indi RSM Tehnologiýa bölüminiň hünärmenleri problemalary çözmäge umyt edip, biziň bilen paýlaşarlar.Aşakdaky pikirler bar bolsa gerek:

　　1 、 Deňagramsyz magnitron tüýdügi

Magnitronyň tüýkürýän katodynyň içki we daşarky magnit polýusynyň ujundan geçýän magnit akymynyň deň däldigini göz öňünde tutsak, deňagramsyz magnitron tüýdük katodydyr.Ordinaryönekeý magnitron tüýdük katodynyň magnit meýdany nyşanyň üstünde jemlenýär, deňagramsyz magnitronyň dökülýän katodynyň magnit meýdany nyşandan çykýar.Ordinaryönekeý magnitron katodyň magnit meýdany nyşanyň üstündäki plazmany berk çäklendirýär, substratyň golaýyndaky plazma bolsa gaty gowşak we substrat güýçli ionlar we elektronlar tarapyndan bombalanmaz.Deňagramsyz däl magnetron katod magnit meýdany plazmany nyşanyň üstünden has uzaklaşdyryp we substraty çümdürip biler.

　　2 、 Radio ýygylygy (RF) tüýdük

Izolýasiýa filmini goýmak prinsipi: izolýasiýa nyşanynyň arka tarapynda ýerleşdirilen geçirijä negatiw potensial ulanylýar.Owalpyldawuk akym plazmasynda, polo positiveitel ion gollanma plastinkasy çaltlaşanda, tüýkürmek üçin öňündäki izolýasiýa nyşanyny bombalaýar.Bu tüýdük diňe 10-7 sekunt dowam edip biler.Ondan soň, izolýasiýa nyşanynda toplanan polo positiveitel zarýaddan emele gelen polo positiveitel potensial, geçiriji plastinkadaky negatiw potensialy öçürýär, şonuň üçin izolýasiýa nyşanyna ýokary energiýa polo positiveitel ionlarynyň bombalanmagy bes edilýär.Bu wagt, elektrik üpjünçiliginiň polýarlygy tersine bolsa, elektronlar izolýasiýa plastinkasyny bombalar we izolýasiýa plastinkasyndaky polo positiveitel zarýady 10-9 sekundyň içinde zyýansyzlandyrar we potensial nola öwrüler.Bu wagt, elektrik üpjünçiliginiň polýarlygyny tersine öwürmek, 10-7 sekuntlap ​​tüýkürip biler.

RF tüýkürmegiň artykmaçlyklary: metal nyşanalar we dielektrik nyşanlary hem pytrap biler.

　　3 、 DC magnitron tüýdük

Magnitron tüýdük örtük enjamlary, DC tüýdükli katod nyşanyndaky magnit meýdanyny ýokarlandyrýar, magnit meýdanynyň Lorentz güýjüni elektrik meýdanyndaky elektronlaryň traýektoriýasyny baglanyşdyrmak we giňeltmek, elektronlar bilen gaz atomlarynyň arasynda çaknyşmak mümkinçiligini ýokarlandyrýar, gaz atomlarynyň ionlaşma derejesi, nyşany bombalaýan ýokary energiýa ionlarynyň sanyny köpeldýär we örtülen substraty bombalaýan ýokary energiýaly elektronlaryň sanyny azaldar.

Planet magnitronyň dökülmeginiň artykmaçlyklary:

1. Maksatly güýç dykyzlygy 12w / sm2-e ýetip biler;

2. Maksat naprýa 600eniýesi 600V-e ýetip biler;

3. Gaz basyşy 0,5pa ýetip biler.

Planet magnitronyň tüýkürmeginiň kemçilikleri: maksat uçuş-gonuş zolagynda tüýdük kanalyny emele getirýär, tutuş nyşanyň üstüni çyzmak deň däl we nyşanyň ulanylyş derejesi bary-ýogy 20% - 30%.

　　4 erm Aralyk ýygylyk AC magnitron tüýdügi

Orta ýygylykdaky AC magnitron tüýdük enjamlarynda köplenç birmeňzeş ululykdaky we şekilli iki nyşanyň gapdalynda düzülendigi, köplenç ekiz nyşana diýilýär.Olar togtadylan gurnamalar.Adatça iki nyşana bir wagtda işleýär.Orta ýygylykdaky AC magnitron reaktiw tüýkürmek prosesinde iki nyşan öz gezeginde anod we katod ýaly hereket edýär we şol bir ýarym aýlawda biri-birine anod katody hökmünde hereket edýär.Haçan-da nyşanyň negatiw ýarym sikl potensialynda bolsa, nyşanyň üstü polo positiveitel ionlar bilen bombalanýar we dökülýär;Oňyn ýarym aýlawda, plazmanyň elektronlary nyşanyň üstündäki izolýasiýa ýüzünde toplanan polo positiveitel zarýady zyýansyzlandyrmak üçin maksat ýüzüne tizlenýär, bu diňe bir nyşanyň üstündäki ýanmagy basyp ýatyrman, eýsem hadysany hem ýok edýär. anod ýitirim boldy ”.

Aralyk ýygylyk goşa maksatly reaktiw tüýkürmegiň artykmaçlyklary:

(1) Depokary depozit derejesi.Silikon nyşanlary üçin orta ýygylykdaky reaktiw tüýdükleriň çökdüriliş derejesi DC reaktiw tüýkülikden 10 esse ýokarydyr;

(2) Tüýkürmek prosesi kesgitlenen iş nokadynda durnuklaşdyrylyp bilner;

(3) "Ot alma" hadysasy ýok edilýär.Taýýarlanan izolýasiýa filminiň kemçilik dykyzlygy, DC reaktiw tüýkürmek usulyna garanyňda birnäçe ululykdaky sargytdyr;

(4) Has ýokary substrat temperaturasy filmiň hilini we ýelmeşmegini gowulandyrmak üçin peýdalydyr;

(5) Elektrik üpjünçiligi, RF tok üpjünçiliginden has aňsat bolsa.

　　5 、 Reaktiw magnitron tüýdügi

Tüýkürmek prosesinde, reaksiýa gazy birleşýän filmleri öndürmek üçin dökülen bölejikler bilen reaksiýa bermek üçin iýmitlenýär.Şol bir wagtyň özünde tüýkürýän birleşme nyşany bilen reaksiýa bermek üçin reaktiw gaz berip biler, şeýle hem belli bir himiki gatnaşygy bolan goşma filmleri taýýarlamak üçin bir wagtyň özünde tüýdükli metal ýa-da garyndy nyşany bilen reaksiýa bermek üçin reaktiw gaz berip biler.

Reaktiw magnitron tüýdükli goşma filmleriň artykmaçlyklary:

:

(2) Amal parametrlerini sazlamak bilen, filmleriň aýratynlyklaryny sazlamak üçin himiki ýa-da himiki däl birleşme filmleri taýýarlanyp bilner;

(3) Substratyň temperaturasy ýokary däl we substratda çäklendirmeler az;

(4) Uly meýdany birmeňzeş örtük üçin amatly we önümçilik önümçiligini amala aşyrýar.

Reaktiw magnitron tüýkürmek prosesinde, birleşýän tüýdügiň durnuksyzlygy ýüze çykýar, esasanam şulary öz içine alýar:

(1) Goşma nyşanlary taýýarlamak kyn;

(2) Maksatly zäherlenme we tüýkürmek prosesiniň durnuksyzlygy sebäpli ýaýyň urmagy (ýaýyň akmagy) hadysasy;

(3) Pökginiň pes derejesi;

(4) Filmiň kemçilik dykyzlygy ýokary.