Recentlyaňy-ýakynda köp dostlar molibden tüýdük nyşanlarynyň aýratynlyklary barada soradylar.Elektron pudagynda, tüýkürmegiň netijeliligini ýokarlandyrmak we goýlan filmleriň hilini üpjün etmek üçin, molibden tüýkürmek nyşanlarynyň aýratynlyklary üçin talaplar nämeler?Indi RSM-den tehniki hünärmenler muny düşündirerler.
1. Arassalyk
Purokary arassalyk, molibden tüýkürmek nyşanynyň esasy häsiýetli talabydyr.Molibden nyşanynyň arassalygy näçe ýokary bolsa, pyrlanan filmiň öndürijiligi şonça gowy.Adatça, molibden tüýkürýän nyşanyň arassalygy azyndan 99,95% bolmaly (köpçülik bölegi, aşakdaky ýaly).Şeýle-de bolsa, LCD senagatynda aýna substratyň ululygynyň yzygiderli gowulaşmagy bilen, simleriň uzynlygy uzalmaly we çyzyk giňligi has inçe bolmaly.Filmiň birmeňzeşligini we simleriň hilini üpjün etmek üçin molibden tüýkürýän nyşanyň arassalygy hem şoňa görä ýokarlandyrylmalydyr.Şonuň üçin, çüýrän aýna substratyň ululygyna we ulanyş gurşawyna görä, molibden tüýkürýän nyşanyň arassalygy 99,99% - 99.999% ýa-da ondanam ýokary bolmaly.
Molibden tüýkürmek nyşany, tüýkürmekde katod çeşmesi hökmünde ulanylýar.Gözenekdäki gaty we kislorod we suw buglaryndaky hapalar, goýlan filmleriň esasy hapalanma çeşmesidir.Mundan başga-da, elektron pudagynda aşgar metal ionlary (Na, K) izolýasiýa gatlagynda ykjam ionlara öwrülmegi aňsat bolany üçin, asyl enjamyň işleýşi peselýär;Uran (U) we titanium (TI) ýaly elementler α rentgen çykar, enjamlaryň ýumşak döwülmegine sebäp bolar;Demir we nikel ionlary interfeýsiň syzmagyna we kislorod elementleriniň köpelmegine sebäp bolar.Şol sebäpden, molibden tüýkürmek nyşanyna taýýarlyk işinde, bu haramlyk elementleri maksatdaky mazmuny azaltmak üçin berk gözegçilikde saklanmalydyr.
2. Dänäniň ululygy we ululygy paýlanyşy
Adatça, molibdeniň dökülmegi maksat polikristally gurluşdyr we dänäniň ululygy mikrondan millimetre çenli üýtgäp biler.Synag netijeleri, däne dänesiniň tüýkülik derejesiniň gödek däne nyşanyndan has çaltdygyny görkezýär;Ownuk dänäniň ululygy tapawudy bolan maksat üçin goýlan filmiň galyňlygy paýlanyşy hem birmeňzeşdir.
3. Kristal ugry
Maksatly atomlaryň tüýkürme wagtynda altyburçlyk ugry boýunça atomlaryň iň ýakyn ýerleşişiniň ugry boýunça has köp ýaýramagy aňsat bolany üçin, iň ýokary tüýdük tizligini gazanmak üçin nyşanyň kristal gurluşyny üýtgetmek bilen köplenç köpelýär.Maksadyň kristal ugry tüýkürilen filmiň galyňlygy birmeňzeşligine-de uly täsir edýär.Şonuň üçin filmiň dökülmegi üçin belli bir kristal gönükdirilen maksat gurluşyny almak gaty möhümdir.
4. Dykyzlamak
Tüýdük örtügi wagtynda, pes dykyzlygy bolan tüýdük nyşany bombalananda, nyşanyň içki gözeneklerinde bar bolan gaz birden çykýar, netijede uly göwrümli bölejikleriň ýa-da bölejikleriň pytramagy ýa-da film materialy bombalanýar. film emele gelenden soň ikinji derejeli elektronlar tarapyndan bölejikleriň pytramagyna sebäp bolýar.Bu bölejikleriň peýda bolmagy filmiň hilini peselder.Maksadyň gaty gözeneklerini azaltmak we filmiň işleýşini gowulandyrmak üçin tüýdük nyşany adatça ýokary dykyzlygy talap edýär.Molibden tüýkürmek maksady üçin, onuň dykyzlygy 98% -den ýokary bolmaly.
5. Maksadyň we şassiniň daşy
Adatça, molibden tüýkürmek nyşany dökülmezden ozal kislorodsyz mis (ýa-da alýumin we beýleki materiallar) şassi bilen birikdirilmelidir, şonuň üçin nyşanyň we şassiniň ýylylyk geçirijiligi tüýkürmek prosesinde gowy bolar.Baglanyşandan soň, ikisiniň baglanyşyk däl meýdanynyň 2% -den az bolmagyny üpjün etmek üçin ultrases barlagy geçirilmeli, şonuň üçin ýokary güýçli tüýdügiň talaplaryny ýerine ýetirmeli.
Iş wagty: Iýul-19-2022