Soňky ýyllarda integral zynjyr (IC) tehnologiýasynyň ösmegi bilen integral zynjyrlaryň degişli goşundylary çalt ösdürildi.Ultra ýokary arassalykly alýumin garyndysynyň dökülmegi, integral zynjyr metal baglanyşyklaryny öndürmekde goldaw beriji material hökmünde soňky içerki gözleglerde gyzgalaňly mowzuga öwrüldi.RSM-iň redaktory bize ýokary arassalykly alýumin garyndysynyň dökülýän nyşanynyň aýratynlyklaryny görkezer.
Magnitron tüýdük nyşanynyň tüýdük netijeliligini has-da ýokarlandyrmak we goýlan filmleriň hilini üpjün etmek üçin köp sanly synag, aşa ýokary arassalyk alýuminiý garyndysynyň dökülýän nyşanynyň düzümine, mikrostrukturasyna we däne ugruna belli bir talaplaryň bardygyny görkezýär.
Dänäniň ululygy we nyşanyň ugrukdyrylyşy IC filmleriniň taýýarlanmagyna we häsiýetlerine uly täsir edýär.Netijeler, däne ululygynyň ýokarlanmagy bilen çöketlik derejesiniň azalýandygyny görkezýär;Şol bir kompozisiýa bilen tüýdük nyşany üçin, ownuk däne ululygyndaky nyşanyň tüýkülik derejesi uly däne ululygyndaky nyşandan has çalt;Maksadyň däne ululygy näçe köp bolsa, goýlan filmleriň galyňlygy paýlanyşy şonça-da birmeňzeşdir.
Şol bir tüýdük guraly we proses parametrleri boýunça, atom dykyzlygynyň ýokarlanmagy bilen Al Cu garyndysynyň tüýdük tizligi ýokarlanýar, ýöne adatça bir aralykda durnukly.Dänäniň ululygynyň tüýkürme derejesine täsiri, dänäniň ululygynyň üýtgemegi bilen atom dykyzlygynyň üýtgemegi bilen baglanyşyklydyr;Çökdüriliş derejesi, esasan, “Al Cu” garyndysynyň däne ugruna täsir edýär.(200) kristal uçarlaryň paýyny üpjün etmek esasynda (111), (220) we (311) kristal uçarlaryň paýynyň ýokarlanmagy depozit derejesini ýokarlandyrar.
Dänäniň ululygy we aşa ýokary arassalyk alýuminiý garyndy maksatlarynyň däne ugrukdyrylyşy, esasan, ingot gomogenizasiýa, gyzgyn işlemek we gaýtadan gurnamak bilen dolandyrylýar.Wafli ululygynyň 20.32 sm (8in) we 30.48 sm (12in) çenli ösmegi bilen, maksat ululygy hem artýar, bu aşa ýokary arassalyk alýuminiý garyndysynyň dökülmegi üçin has ýokary talaplary öňe sürýär.Filmiň hilini we hasyllylygyny üpjün etmek üçin maksatly mikrostrukturanyň birmeňzeş bolmagy üçin maksatly gaýtadan işlemegiň parametrleri berk gözegçilikde saklanmalydyr we däne ugry güýçli (200) we (220) tekiz dokumalara eýe bolmalydyr.
Iş wagty: Iýun-30-2022