Häzirki wagtda IC pudagy tarapyndan talap edilýän ýokary derejeli ultra ýokary arassa metaldan ýasalan mis nyşanlaryň hemmesi diýen ýaly birnäçe iri daşary ýurt köpmilletli kompaniýalar tarapyndan monopoliýa edilýär.Içerki IC senagaty üçin zerur bolan ultramelewşe mis maksatlarynyň hemmesini import etmeli, bu diňe bir gymmat däl, eýsem import proseduralarynda hem çylşyrymly. Şonuň üçin Hytaý aşa ýokary arassalygy (6N) mis tüýdük maksatlarynyň ösüşini we barlagyny gowulandyrmaly. .Ultra ýokary arassalygy (6N) mis tüýkürmek nyşanlarynyň ösüşindäki esasy nokatlara we kynçylyklara göz aýlalyň.
1、Ultra ýokary arassalyk materiallaryny ösdürmek
Hytaýda ýokary arassa Cu, Al we Ta metallaryny arassalamak tehnologiýasy senagat taýdan ösen ýurtlardan has uzakda.Häzirki wagtda üpjün edilip bilinýän ýokary arassa metallaryň köpüsi, pudakdaky adaty elementleriň derňew usullaryna laýyklykda nyşanalary pytratmak üçin integral zynjyrlaryň hil talaplaryna laýyk gelmeýär.Maksada goşulýanlaryň sany gaty köp ýa-da deň däl paýlanýar.Bölekler köplenç tüýdük wagtynda wafliň üstünde emele gelýär, netijede filmiň ýerine ýetirilmegine çynlakaý täsir edýän gysga utgaşma ýa-da açyk baglanyşyk bolýar.
2、Mis tüýdügini maksatly taýýarlamak tehnologiýasyny ösdürmek
Misiň dökülmegine gönükdirilen taýýarlyk tehnologiýasynyň ösüşi esasan üç tarapa gönükdirilýär: däne ululygy, ugrukdyryş gözegçiligi we birmeňzeşlik.Ondarymgeçiriji pudagy nyşanalary köpeltmek we çig malyň bugarmagy üçin iň ýokary talaplara eýedir.Dänäniň üstki dänesiniň ululygyna we nyşanyň kristal ugruna gözegçilik etmek üçin gaty berk talaplar bar.Maksadyň däne ululygy 100-e gözegçilik edilmelidirμ Aşakda M, däne ululygyna gözegçilik etmek we korrelýasiýa seljermesi we kesgitlemek serişdeleri metal nyşanlaryň ösmegi üçin örän möhümdir.
3、Derňewi ösdürmek wesynag tehnologiýasy
Maksadyň ýokary arassalygy hapalaryň azalmagyny aňladýar.Geçmişde hapalary kesgitlemek üçin induktiw birleşdirilen plazma (ICP) we atom siňdiriş spektrometri ulanylýardy, ýöne soňky ýyllarda has duýgurlygy bolan ýalpyldawuk çykaryş hiliniň derňewi (GDMS) kem-kemden standart hökmünde ulanylýar. usuly.Galyndy garşylyk gatnaşygy RRR usuly esasan elektrik arassalygyny kesgitlemek üçin ulanylýar.Onuň kesgitlemek ýörelgesi, hapalaryň elektroniki ýaýramagynyň derejesini ölçemek bilen esasy metalyň arassalygyna baha bermekdir.Garşylygy otag temperaturasynda we gaty pes temperaturada ölçemek üçin, san almak ýönekeý.Soňky ýyllarda metallaryň düýp manysyny öwrenmek üçin aşa ýokary arassalyk boýunça gözlegler örän işjeňdir.Bu ýagdaýda RRR bahasy arassalygy bahalandyrmagyň iň gowy usulydyr.
Iş wagty: Maý-06-2022