Hemmämiziň bilşimiz ýaly wakuum örtüginde wakuum bugarmagy we ion dökülmesi köplenç ulanylýar.Buglanmak örtügi bilen tüýkürme örtüginiň arasynda näme tapawut bar?Ondan soň RSM-iň tehniki hünärmenleri biziň bilen paýlaşarlar.
Wakuum bugarmak örtügi, wakuum derejesi 10-2Pa-dan az bolmadyk gurşawda garşylykly ýyladyş ýa-da elektron şöhlesi we lazer bombalanmagy arkaly bugarmaly materialy belli bir temperaturada gyzdyrmakdyr, molekulalaryň ýylylyk titremesi energiýasy ýa-da materialdaky atomlar, ýeriň birleşdiriji energiýasyndan ýokarydyr, şonuň üçin köp sanly molekulalar ýa-da atomlar bugarýar ýa-da sublimasiýa bolýar we film döretmek üçin substrata gönüden-göni çökýär.Ion tüýdük örtügi, katod hökmünde nyşany bombalamak üçin elektrik meýdanynyň täsiri astynda gazyň çykmagy bilen emele gelen polo positiveitel ionlaryň ýokary tizlikli hereketini ulanýar, şonuň üçin nyşandaky atomlar ýa-da molekulalar gaçyp, örtülen iş böleginiň üstüne çökýär. zerur film.
Wakuum bugarmak örtüginiň iň köp ulanylýan usuly, ýönekeý gurluşyň, arzan bahaly we amatly işlemegiň artykmaçlyklaryna eýe bolan garşylykly ýyladyşdyr;Adetmezçiligi, çydamly metallar we ýokary temperatura çydamly dielektrik materiallary üçin amatly däl.Elektron şöhleleri ýylatmak we lazer bilen ýylatmak garşylyk gyzdyrmagyň kemçiliklerini ýeňip biler.Elektron şöhleleri gyzdyrylanda, gönükdirilen elektron şöhlesi bombalanan materialy gönüden-göni gyzdyrmak üçin ulanylýar we elektron şöhlesiniň kinetik energiýasy materialyň bugarmagyna sebäp bolýan ýylylyk energiýasyna öwrülýär.Lazer bilen ýyladyş, ýylylyk çeşmesi hökmünde ýokary güýçli lazeri ulanýar, ýöne ýokary güýçli lazeriň gymmatlygy sebäpli häzirki wagtda diňe birnäçe gözleg laboratoriýalarynda ulanylyp bilner.
Tüýkürmek tehnologiýasy wakuum bugarmak tehnologiýasyndan tapawutlanýar.“Tüýkürmek” zarýadly bölejikleriň gaty üstüni (nyşany) bombalap, gaty atomlary ýa-da molekulalary ýerden çykarýan hadysany aňladýar.Zyňylýan bölejikleriň köpüsi köplenç tüýkürilen atomlar diýlip atlandyrylýan atom ýagdaýynda.Maksady bombalamak üçin ulanylýan tüýkü bölejikler elektron, ion ýa-da bitarap bölejik bolup biler.Ionlar zerur kinetiki energiýa almak üçin elektrik meýdanynda tizlenmek aňsat bolany üçin, köpüsi ionlary bombalanan bölejikler hökmünde ulanýarlar.Tüýkürmek prosesi ýalpyldawuk akymlara esaslanýar, ýagny tüýkürmek ionlary gaz akymyndan gelýär.Dürli tüýdük tehnologiýalary dürli ýalpyldawuk akym usullaryny kabul edýär.DC diodyň dökülmegi DC ýalpyldawuk akymyny ulanýar;Triodyň dökülmegi gyzgyn katod bilen goldanýan ýalpyldawuk akym;RF tüýdügi RF ýalpyldawuk akymyny ulanýar;Magnitronyň dökülmegi, ýyllyk magnit meýdany tarapyndan dolandyrylýan ýalpyldawuk akym.
Wakuum bugarmak örtügi bilen deňeşdirilende, tüýkürýän örtük köp artykmaçlyga eýe.Mysal üçin, islendik madda tüýkürilip bilner, esasanam ýokary eriş nokady we pes bug basyşy bolan elementler we birleşmeler;Dökülen film bilen substratyň arasyndaky ýelmeşme gowy;Filmiň dykyzlygy;Filmiň galyňlygyny dolandyryp bolýar we gaýtalanmagy gowy.Adetmezçiligi enjamlaryň çylşyrymly bolmagy we ýokary woltly enjamlary talap etmegidir.
Mundan başga-da, bugarmak usuly bilen tüýkürmek usulynyň utgaşmasy ion örtükdir.Bu usulyň artykmaçlyklary, alnan filmiň substrat, ýokary depozit derejesi we ýokary film dykyzlygy bilen güýçli ýelmeşmegidir.
Iş wagty: Iýul-20-2022