Maksat bilen häzir gaty tanyş bolmaly, indi maksat bazary hem köpelýär, aşakda RSM-iň redaktory tarapyndan paýlaşylan tüýdük nyşanynyň esasy görkezijisi
Arassalyk
Maksatly materialyň arassalygy esasy öndürijilik görkezijilerinden biridir, sebäbi maksatly materialyň arassalygy inçe filmiň ýerine ýetirilmegine uly täsir edýär.Şeýle-de bolsa, amaly taýdan maksatly materiallaryň arassalygy talaplary birmeňzeş däl.Mysal üçin, mikroelektronika pudagynyň çalt ösmegi bilen kremniniň çipiniň ululygy 6 “, 8” -den 12 ″ aralygynda işlenip düzüldi we simleriň giňligi 0,5umdan 0.25um, 0.18um, hatda 0,13um çenli azaldyldy.Ozal 99.995% maksatly materialyň arassalygy 0,35umIC talaplaryna laýyk bolup biler.Maksatly materialyň arassalygy 0,18um çyzyklary taýýarlamak üçin 99.999% ýa-da hatda 99.9999%.
Haramlyk mazmuny
Maksatly gaty hapalar we gözeneklerdäki kislorod we suw buglary filmiň çökmeginiň esasy hapalanma çeşmesidir.Dürli maksatly maksatly materiallarda dürli haramlyk mazmuny üçin dürli talaplar bar.Mysal üçin, ýarymgeçiriji pudagynda ulanylýan arassa alýumin we alýumin garyndy maksatlary, aşgar metallaryň we radioaktiw elementleriň mazmuny üçin aýratyn talaplara eýedir.
Dykyzlygy
Maksadyň gaty gözenekliligini azaltmak we tüýkürýän filmiň işleýşini gowulandyrmak üçin, adatça nyşanyň ýokary dykyzlygy talap edilýär.Maksadyň dykyzlygy diňe bir tüýkürme tizligine däl, eýsem filmiň elektrik we optiki aýratynlyklaryna hem täsir edýär.Maksat dykyzlygy näçe ýokary bolsa, filmiň görkezijisi şonça gowy.Mundan başga-da, nyşanyň dykyzlygyny we güýjüni ýokarlandyrmak, tüýkürmek prosesinde ýylylyk stresine has oňat garşy çykýar.Dykyzlygy hem nyşanyň esasy öndürijilik görkezijilerinden biridir.
Dänäniň ululygy we dänäniň paýlanyşy
Maksat, adatça mikrometrden millimetre çenli dänäniň ululygyndaky polikristallydyr.Şol bir maksat üçin, ownuk däneler bilen nyşanyň tüýdük tizligi, uly däne bilen nyşanyňkydan has çalt.Ownuk dänäniň ululygy tapawudy (birmeňzeş paýlanyş) bilen tüýdükli maksat bilen goýlan filmleriň galyňlygy paýlanyşy has birmeňzeşdir.
Iş wagty: Awgust-04-2022