Maksadyň köp ugurlary we köp ugurlary bar.Täze tüýdük enjamlary, nyşanyň we argon ionlarynyň arasynda çaknyşmak ähtimallygyny ýokarlandyrýan nyşanyň töwereginde argonyň ionlaşmagyny çaltlaşdyrmak üçin elektronlary aýlamak üçin güýçli magnitleri ulanýar,
Tüýdük derejesini ýokarlandyryň.Adatça, DC tüýdügi metal örtük üçin ulanylýar, RF aragatnaşygynyň tüýdügi bolsa geçiriji däl keramiki magnit materiallary üçin ulanylýar.Esasy ýörelge wakuumda nyşanyň üstündäki argon (AR) ionlaryny urmak üçin ýalpyldawuk akymlary ulanmakdyr we plazmadaky kationlar pytradylan material hökmünde otrisatel elektrodyň üstüne çaltlaşar.Bu täsir, nyşanyň materialyny uçup, film döretmek üçin substrata goýberer.
Umuman, tüýkürmek prosesini ulanyp, film örtüginiň birnäçe aýratynlygy bar:
(1) Metal, garyndy ýa-da izolýator inçe film maglumatlaryna ýasalyp bilner.
(2) Degişli şertlerde birmeňzeş kompozisiýaly film köp we tertipsiz nyşanlardan ýasalyp bilner.
(3) Maksatly material we gaz molekulalarynyň garyndysy ýa-da birleşmesi, çykaryş atmosferasyna kislorod ýa-da beýleki işjeň gazlary goşmak arkaly ýasalyp bilner.
(4) Maksatly giriş toguny we tüýdük wagtyny dolandyryp bolýar we ýokary takyklykly film galyňlygyny almak aňsat.
(5) Beýleki filmleriň öndürilmegi üçin peýdalydyr.
(6) Dökülen bölejikler agyrlyk güýjüne gaty täsir etmeýär we maksat we substrat erkin guralyp bilner.
Iş wagty: Maý-24-2022