Ulanyjylaryň köpüsi tüýkürmek nyşanynyň önümi barada eşiden bolmaly, ýöne nyşana atmak ýörelgesi birneme tanyş däl bolmaly.Indi redaktorBaý ýörite material (RSM) tüýkürmek nyşanynyň magnitron tüýdük ýörelgelerini paýlaşýar.
Göçürilen maksatly elektrod (katod) bilen anodyň arasynda ortogonal magnit meýdany we elektrik meýdany goşulýar, zerur inert gazy (umuman Ar gazy) ýokary wakuum kamerasyna doldurylýar, hemişelik magnit 250 ~ 350 Gauss magnit meýdanyny emele getirýär maksatly maglumatlaryň üstü we ortogonal elektromagnit meýdany ýokary woltly elektrik meýdany bilen emele gelýär.
Elektrik meýdanynyň täsiri astynda Ar gazy polo positiveitel ionlara we elektronlara ionlaşdyrylýar.Maksada belli bir otrisatel ýokary naprýa .eniýe goşulýar.Magnit meýdanynyň maksat polýusyndan çykýan elektronlara täsiri we gazyň ionlaşma ähtimallygy ýokarlanýar we katodyň golaýynda ýokary dykyzlykly plazma emele gelýär.Lorentz güýjüniň täsiri bilen, Ar ionlary nyşanyň üstüne çaltlaşýarlar we nyşanyň üstüni gaty ýokary tizlikde bombalaýarlar, Maksatdaky dökülen atomlar tizligi öwürmek ýörelgesine eýerýärler we ýokary kinetik energiýa bilen nyşanyň üstünden substrata uçýarlar. filmleri goýmak.
Magnitron tüýdügi köplenç iki görnüşe bölünýär: Tüweleý tüýkürmek we RF tüýkürmek.Goşmaça tüýdük enjamlarynyň prinsipi ýönekeý we metal dökülende onuň tizligi hem çaltdyr.RF tüýdügi giňden ulanylýar.Geçiriji materiallary dökmekden başga-da, geçiriji däl materiallary hem döküp biler.Şol bir wagtyň özünde, oksidleriň, nitridleriň, karbidleriň we beýleki birleşmeleriň materiallaryny taýýarlamak üçin reaktiw tüýkürme geçirýär.RF ýygylygy ýokarlandyrylsa, mikrotolkunly plazma döküler.Indi elektron siklotron rezonansy (ECR) mikrotolkunly plazma tüýdügi köplenç ulanylýar.
Iş wagty: 31-2022-nji maý