Örtülen nyşanyň üstündäki inçe film aýratyn material görnüşidir.Galyňlygyň belli bir ugrunda, mikroskopiki ölçenip boljak mukdar gaty az.Mundan başga-da, filmiň galyňlygynyň daşky görnüşi we interfeýsi sebäpli film maglumatlary we maksatly maglumatlar dürli umumy häsiýetlere eýe bolan material dowamlylygy gutarýar. Maksat esasan magnitron tüýdük örtügini ulanmakdyr, Pekin Riçmatyň redaktory bize düşüner; tüýkürmek örtüginiň ýörelgesi we başarnyklary.
一 tüýkürmek örtügi
Tüýdük örtük ussatlygy, ion atmagyň nyşana görnüşini ulanmak, maksat atomlary tüýkürmek diýlip atlandyrylýan hadysadan çykýar.Substratyň üstünde goýlan atomlara tüýkürme örtügi diýilýär. Umuman alanyňda, gaz ionlaşmagy gazyň çykarylmagy bilen öndürilýär we polo positiveitel ionlar elektrik meýdanynyň täsiri astynda katod nyşanyny ýokary tizlikde bombalaýar, atomlary ýa-da molekulalary urýar. katod nyşany we filme goýmak üçin substratyň ýüzüne uçmak. Gysgaça aýdanyňda, tüýdük örtük ionlary öndürmek üçin pes basyşly inert gaz şöhlelerini ulanýar.
Adatça, tüýkürýän film örtük enjamlary wakuum çykaryş kamerasynda iki elektrod bilen enjamlaşdyrylandyr we katod nyşany örtük maglumatlaryndan durýar.Wakuum kamerasy 0,1 ~ 10Pa basyşy bilen argon gazy bilen doldurylýar.Owalpyldawuk akym, katodda 1 ~ 3kV dc ýa-da rf naprýa 13.eniýesi 13.56mhz bolan täsiri astynda ýüze çykýar.
二 ut Örtük örtük endikleriniň aýratynlyklary
1 、 Çalt ýygnamagyň tizligi
Speedokary tizlikli magnitron tüýdükli elektrod bilen adaty iki basgançakly elektrodyň arasyndaky tapawut, magnit nyşanyň aşagynda ýerleşdirilendir, şonuň üçin ýapyk deň däl magnit meýdany nyşanyň üstünde ýüze çykýar - Elektronlardaky lorentz güýji merkeze tarapdyr. birmeňzeş magnit meýdany.Fokus effekti sebäpli elektronlar az gaçýarlar.Geterogen magnit meýdany nyşanyň üstünde aýlanýar we birmeňzeş magnit meýdanynda tutulan ikinji elektronlar gaz molekulalary bilen gaýta-gaýta çaknyşýar, bu bolsa gaz molekulalarynyň ýokary öwrüliş tizligini ýokarlandyrýar. Şonuň üçin ýokary tizlikli magnitronyň ýaýramagy pes güýji sarp edýär, ýöne ideal akym aýratynlyklary bilen ajaýyp örtük netijeliligini alyp biler.
2 subst Substratyň temperaturasy pes
Speedokary tizlikli magnitron tüýdügi, pes temperatura tüýdügi hem diýilýär.Munuň sebäbi, enjamyň biri-birine gönüden-göni elektromagnit meýdanlarynda zyňyndylary ulanmagydyr.Maksadyň daşynda, biri-birinde ýüze çykýan ikinji derejeli elektronlar.Göni elektromagnit meýdanyň hereketi bilen, nyşanyň üstüne ýakyn bolup, uçuş-gonuş zolagy boýunça tegelek tegelek çyzykda hereket edýär, gaz molekulalaryny ionlaşdyrmak üçin gaz molekulalaryna birnäçe gezek kakýar. Bilelikde, elektronlaryň özleri ýuwaş-ýuwaşdan energiýasyny ýitirýärler. Substratyň golaýyndaky nyşanyň üstünden gaçyp gutulmanka, energiýasy düýbünden ýitýänçä gaýtalanýar.Elektronlaryň energiýasy gaty pes bolany üçin, nyşanyň temperaturasy gaty ýokary galmaýar.Bu, kriogenizasiýany tamamlaýan adaty diodyň ýokary energiýaly elektron bombasy sebäpli dörän substrat temperaturasynyň ýokarlanmagyna garşy durmak üçin ýeterlikdir.
3 membrananyň gurluşlarynyň giň topary
Wakuum bugarmagy we sanjym çöketligi bilen alnan inçe filmleriň gurluşy, gaty jisimleriň inçelmeginden düýpgöter tapawutlanýar.Aslynda üç ölçegde birmeňzeş gurluş hökmünde klassifisirlenýän, bar bolan gaty jisimlerden tapawutlylykda, gaz fazasynda goýlan filmler birmeňzeş gurluşlar hökmünde klassifikasiýa edilýär. Inçe filmler sütün bolup, elektron mikroskopiýa arkaly gözlenip bilner.Filmiň sütün ösmegine substratyň asyl konweks üstü we substratyň görnükli ýerlerinde birnäçe kölege sebäp bolýar.Şeýle-de bolsa, sütüniň görnüşi we ululygy substratyň temperaturasy, toplanan atomlaryň ýerüsti ýaýramagy, haram atomlaryň jaýlanmagy we hadysa atomlarynyň substratyň ýüzüne görä burçy sebäpli düýpgöter tapawutlanýar.Artykmaç temperatura aralygynda inçe film süýümli gurluşa, ýokary dykyzlyga eýe bolup, tüýkürýän filmiň özboluşly gurluşy bolan inçe sütün kristallaryndan durýar.
Tüýdük basyşy we filmiň ýygnalmagy tizligi filmiň gurluşyna-da täsir edýär.Gaz molekulalarynyň atomlaryň substratyň üstündäki ýaýramagyny basyp ýatyrmak täsiri barlygy sebäpli, ýokary tüýdük basyşynyň täsiri modeldäki substratyň temperaturasynyň peselmegi üçin amatlydyr.Şonuň üçin inçe dänäni öz içine alýan gözenekli filmleri ýokary tüýdük basyşynda alyp bolýar.Bu ownuk däne ululygyndaky film, ýaglamak, aşaga garşylyk, ýeriň gatylaşmagy we beýleki mehaniki goşundylar üçin amatlydyr.
4 comp Kompozisiýany deň derejede tertipläň
Wakuum bugarmagy bilen örtülmegi gaty kyn bolan birleşmeler, garyndylar, erginler we ş.m., komponentleriň bug basyşy dürli-dürli ýa-da gyzdyrylanda tapawutlanýar, örtük usuly. substrata, bu manyda has gowy film döretmek ussatlygydyr.Materialshli görnüşli materiallary tüýkürmek arkaly senagat örtük önümçiliginde ulanyp bolýar.
Iş wagty: Aprel-29-2022