Polisilikon möhüm tüýdük maksatly materialdyr.SiO2 we beýleki inçe filmleri taýýarlamak üçin magnitron tüýdük usulyny ulanmak, matrisa materialynyň has gowy optiki, dielektrik we poslama garşylygyny döredip biler, bu sensor ekranda, optiki we beýleki pudaklarda giňden ulanylýar.
Uzyn kristallary guýmak prosesi, suwuk kremniniň aşakdan ýokara ugrukdyrylmagyny, girýän peçiň gyzgyn meýdanyndaky ýyladyjynyň temperaturasyna we ýylylyk izolýasiýa materialynyň ýylylyk ýaýramagyna takyk gözegçilik etmek arkaly amala aşyrmakdyr we berkleşme uzyn kristallaryň tizligi 0,8 ~ 1,2 sm / sag.Şol bir wagtyň özünde, ugrukdyryjy berkitme prosesinde kremniý materiallardaky metal elementleriň bölüniş täsiri amala aşyrylyp bilner, metal elementleriniň köpüsi arassalanyp bilner we birmeňzeş polikristally kremniý däne gurluşy emele gelip biler.
Döküm polisilikon, kremniniň eremeginde kabul ediji hapalaryň konsentrasiýasyny üýtgetmek üçin önümçilik prosesinde bilkastlaýyn köpeldilmeli.Senagatda p görnüşli guýma polisilikonyň esasy dopanty, boruň mukdary takmynan 0,025% bolan kremniy bor ussasydyr.Doping mukdary kremniý wafli nyşana garşylygy bilen kesgitlenýär.Iň amatly garşylyk 0,02 ~ 0.05 Ω • sm, degişli bor konsentrasiýasy takmynan 2 × 1014 sm-3。 Şeýle-de bolsa, kremniýdäki boruň bölüniş koeffisiýenti 0,8 bolup, ugrukdyryjy berkitme prosesinde belli bir bölüniş täsirini görkezer. bor elementi, ingotyň dik ugry boýunça bir gradiýentde paýlanýar we garşylyk kem-kemden ingotyň ýokarsyndan peselýär.
Iş wagty: Iýul-26-2022